太阳能扩散炉

太阳能电池扩散工艺及其设备

太阳能电池扩散工艺及其设备

    技术方案是：一种太阳能电池扩散工艺，在太阳能电池扩散工艺中通控制抽气排风压力，使抽气排风压力这个参数保持稳定，抽气排风压力这个参数保持稳定，抽气排风压力的稳定导致辞磷在硅片中的注入浓度稳定，使加工后得到的硅片的方块电池保持稳定，在后道的烧结中可以匹配出高效的太阳能电池。抽气排风压力通过在机台排风端加装的排风压力控制阀和排风压力控制器进行控制。

    一种太阳能电池扩散设备，包括扩散炉和机台排风端，扩散炉内产生的废气通过管道从机台排风端排出，机台排风端安装风压力控制阀和相应的排风压力控制器。

进入扩散炉的气体和化学品由气体流量控制器控制，因此是稳定的。但是排风是由厂务直接控制的，抽气排风压力就是厂务排风的压强，由于厂务排风连接多个机台，所以排风压力是是稳定的。一般控制的压强范围是1.5-5mbar。通过实验发现抽气排风压力对硅片的方块电池同样具有较大影响。

    由于抽气排风压力波动导致磷在硅片中的注入的浓度发生变化，因为方块电阻跟磷的搀杂浓度有关。方块电阻就会在49.5-54ohm的区间里相应变化。

    效果是：抽气排风压力稳定后，磷在硅片中的注入浓度稳定后，方块电阻也随之稳定，可以提升较终太阳能电池的效率5%。